ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນ ແລະ ກ້ອງຈຸລະທັດແບບແສງແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມປະເພດ ແລະ ການອອກແບບ, ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນ
ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນສົ່ງຜ່ານ (TEM): ໃນປະຈຸບັນ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຄວາມລະອຽດຂອງກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນສົ່ງຜ່ານສາມາດແກ້ໄຂໂຄງສ້າງທີ່ຕໍ່າກວ່າ 0.2μm, ແລະຄວາມລະອຽດຂອງຂີດຈຳກັດຂົ້ວສາມາດບັນລຸ 0.1nm. ຕົວຢ່າງ, ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນສົ່ງຜ່ານທີ່ດີບາງອັນມີຄວາມລະອຽດ 1.5 ຫາ 2A (1A = 0.1nm), ເຊິ່ງສາມາດແກ້ໄຂເກືອບທຸກອະຕອມໄດ້.
ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນສະແກນ (SEM): ຄວາມລະອຽດທາງກວ້າງຂອງພື້ນທີ່ 1μm³ ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນບັນລຸໄດ້, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມແມ່ນຍຳອາດແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມປະເພດຂອງອຸປະກອນ ແລະ ສະພາບການເບິ່ງ.
ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງກ້ອງຈຸລະທັດແສງ
ກ້ອງຈຸລະທັດແບບແສງທົ່ວໄປ: ຄວາມລະອຽດຂອບເຂດຂອງມັນມັກຈະປະມານ 250 nm, ເຊິ່ງສູງກວ່າຄວາມລະອຽດຂອງຕາມະນຸດ 1 ລ້ານເທົ່າ (0.25 ມມ). ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຄວາມລະອຽດ ແລະ ການຂະຫຍາຍຂອງກ້ອງຈຸລະທັດແບບແສງສາມາດປັບປຸງໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໂດຍການໃຊ້ເລນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ເຕັກນິກການສ່ອງແສງ.
ກ້ອງຈຸລະທັດແບບແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ: ເຊັ່ນ: ກ້ອງຈຸລະທັດດິຈິຕອນແບບແສງ, ຄວາມລະອຽດຂອງຄວາມແມ່ນຍໍາສາມາດບັນລຸ 0.1 ໄມໂຄຣມ, ຂະຫຍາຍໄດ້ເຖິງ 5000 ເທົ່າ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຍັງມີເຄື່ອງມືວິເຄາະທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໂດຍອີງໃສ່ຫຼັກການຂອງການແຊກແຊງແສງສີຂາວເຊັ່ນ: ກ້ອງຈຸລະທັດແບບແສງສາມມິຕິ, ເຊິ່ງສາມາດບັນລຸການວັດແທກພູມສັນຖານພື້ນຜິວດ້ວຍຄວາມລະອຽດຂອງລະດັບນາໂນມິເຕີ.
ກ້ອງຈຸລະທັດແສງພິເສດ: ເຊັ່ນ: ກ້ອງຈຸລະທັດແສງນາໂນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳໃນການວາງຕຳແໜ່ງ 2nm, ເຊັ່ນ: ເທັກໂນໂລຢີ MINFLUX, ເຊິ່ງໝາຍເຖິງກ້ອງຈຸລະທັດຄວາມລະອຽດລະດັບນາໂນໄດ້ເຂົ້າສູ່ຂະແໜງການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດຊີວິດຢ່າງເປັນທາງການແລ້ວ.
ເວລາໂພສ: ພະຈິກ-01-2025

